树脂-罗门哈斯抛光树脂-UP6040&6150
美国罗门哈斯公司的超纯水树脂Amberjet™ UP系列产品,采用最新的喷射制造工艺,开发了高纯度、高质量的均粒树脂,用于超纯水系统高效分床、再生混床及终端抛光混床。 其杰出的表现在于使出水水质近乎完美----18MΩcm,TOC控制在极低水平。
主要应用于微电子行业中的半导体元器件、高性能显示器、计算机芯片及高精度的设备制造等要求超纯度水领域。
产品技术指标:
Amberjet™ UP ----超纯水专用树脂系列
产品名称 |
类 型 |
含 水 量 % |
总交换容量 Eq/L≥ |
堆积密度 g/L |
均一系数 |
主要粒径 |
主要用途特点 |
Amberjet™ UP6150 |
超纯混床树脂 (抛光树脂) |
H+ 44-54 OH- 54-64 |
0.86 |
730 |
H+ ≤1.20 OH- ≤1.25 |
H+ 580-680 OH- 580-690 |
超纯水用精处理混床,适用于生产半导体集成电路、显示器、硬盘、CD-ROM等用水 |
Amberjet™ UP6040 |
超纯混床树脂 (抛光树脂) |
H+/OH- H+ 44-51 OH- 54-60 |
H+ 2.00 OH- 1.10 |
710 |
≤1.2 |
H+ 1.20 OH- 1.2 |
极端超纯水用终端精处理混床。非再生树脂。 |
Amberjet™ UP树脂
建议运行条件 |
Amberjet™ UP6150 |
Amberjet™ UP6040 |
进水温度 |
15-25℃ |
15-25℃ |
最小床深 |
900mm |
900mm |
运行流速(普通混床) |
20-30BV/h |
/ |
运行流速(精处理混床) |
30-40BV/h |
30-50BV/h |
精处理混床进水质标准 |
||
电阻率 |
>16MΩ·cm |
>17MΩ·cm |
硅 |
<5ppb |
<2ppb |
TOC |
<20ppb |
<15ppb |
*1BV(床体积) -1m3溶液/m3树脂 |
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